章熙康

非晶態(tài)材料及其應(yīng)用

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超大規(guī)模集成電路工藝原理 一硅和砷化鎵

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超大規(guī)模集成電路工藝原理——硅和砷化鎵【本書討論半導(dǎo)體器件和集成電路制造工藝的基本原理，重點(diǎn)是超大規(guī)模集成電路制造中的主要工藝，也包括制備分立器件及中規(guī)模集成電路用的許多工藝，為研究生和工程師提供VLSI領(lǐng)域的廣泛的基礎(chǔ)知識(shí)和把握其發(fā)展方向所必備的基本原理】

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